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韩国海力士半导体(Hynix Semiconductor)开发出了层叠24层25μm厚的NAND型闪存、总厚度为1.4mm的MCP(多芯片封装)。在此前开发的MCP产品中,层叠的芯片最多。
该公司于2007年5月开发出了层叠20层芯片的MCP。新开发的技术内容如下。(1)使下层芯片可以支撑上层芯片的分层层叠技术,(2)可实现分层层叠的LSI内部电路重布线技术,(3)使层叠更加容易的重布线优化技术,(4)将重布线后的半导体芯片厚度降至A4纸1/4的技术,(5)使用WBL(wafer backside lamination)胶带,减少芯片间连接部件的技术。
理论上,采用以上新技术,用16Gbit的NAND型闪存来制造MCP产品的话,可以制造出容量为384Gbit(48GB)的存储器。
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