国际光存储技术交流研讨会：BD主题讲演

SINGULUS谈相变母盘制作工艺

SINGULUS可以说是全球最大的光盘复制设备提供商，它提供了从前端母盘制作到后端复制的全套设备，而来自SINGULUS的销售主管Rick Uitdehaag介绍其最新的CRYSTALLine母盘制作设备，而它的关键特性就是相变母盘制作技术（PTM，Phase Transition Mastering）

在以PTM方式制作母盘时，先在玻璃基板上溅射一层硅层，然后再溅射一层相变层，这个相变层的组成为ZnS SiO2，它对激光是透明的。在制作时，激光穿过相变层照射到硅层，使硅加热，然后再迅速冷却，从而使相应位置上的相变层结晶，从而产生了不同了腐蚀率

在显影阶段，由于结晶与非结晶的相变层在腐蚀率方面不同，因为在显影剂的腐蚀下，结晶的部分保留下来，从而形成了最终的母盘

传统的CD与DVD母盘工艺是光刻胶，通过光刻蚀形成母盘的凹坑，但在BD和HD DVD时代，由于数据轨道加密，激光的衍照干扰就会比较严重，将影响相邻轨道的成像，而通过相变技术，因为要有足够的热量才能起反应，所以只有激光的中间主束才会对硅层加热有效果，从而大大减小了激光衍照所带来的影响，提高了母盘制作精度

Rick Uitdehaag还顺便介绍了一下AACS加密流程，内容提供商首先将内容确认，然后通过网络向AACS授权组织申请密钥，之后对内容数据进行加密，形成镜像文件，再交给光盘复制商进行母盘制作与子盘复制