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尔必达内存(Elpida Memory)宣布,打算使计划2011年前后量产的40nm工艺DRAM的内存单元面积缩小至4F2(F为设计规格)。4F2为现有NAND型闪存所达到的水平,尔必达欲通过单元晶体管的三维化等措施实现该规格。这一消息是在9月4~5日举办的“ISTF(Industry Strategy and Technology Forum) 2007”上,由该公司董事、执行董事·CTO科技&发展Office安达隆郎发布的。
尔必达目前正在量产70nm工艺产品,将利用继此之后的65nm工艺使目前4F2的单元面积缩小至4F2。该公司目前正在试制65nm工艺的芯片,计划本年度内实现量产。将单元面积缩小至4F2的40nm工艺领先65nm三代。在此期间,计划量产50nm工艺和45nm工艺的芯片。实现6F2和4F2后,安达隆郎表示,“在今后的每代工艺中,还将继续保持使单元面积缩小30%的速度”。
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